高性能残余气体分析仪 （RGA） 光谱仪 MPH介绍

发布日期：2023-05-22      浏览次数：1250

高性能残余气体分析仪 （RGA） 光谱仪 MPH介绍

特点 

・每点1.1ms的超高速数据采集（模拟扫描，选择性峰值） 

・标准校准器（可选） 

・可进行TCP/IP以太网连接 ・双灯丝 （8）
・可现场更换的二次电子倍增管 

・结合阳极、阴极和排斥电极的灯丝套件 

・小型传感器将安装空间降至低 

・2位动态范围
・MDPP（最小检测部分电压）为<2.9E-2Pa（7amu） <b13> 

・提高信噪比 

・无需匹配传感器和控制单元（SCU） 

・通过双重包装在洁净室环境中进行组装、检查和运输 

・符合RoHS标准



新设计的传感器提高了平均故障时间，降低了运行成本 Transspector MPH的离子源由两根灯丝组成，它们结合了阳极，阴极和驱虫器电极。 双灯丝设计，使用主和备用，允许传感器长时间使用，避免灾难性的系统故障。 Transpector MPH 还允许您为您的应用选择合适的灯丝（钨用于含卤素工艺，钇涂层铱用于含氧工艺），因此该工艺不会缩短灯丝的使用寿命。

更换显影器MPH的灯丝相当于更换传统RGA的整个离子源。 维护点的减少大大降低了总成本。 Transpector MPH 通过用灯丝代替离子源来延长 RGA 的使用寿命和灵敏度，这些灯丝通常会因长期使用而受到污染。

该传感器还为可现场更换的二次电子倍增管（EM）（如果配备二次电子倍增管）增加了价值。 在日常维护期间，EM可以在现场快速更换。 新的二次电子倍增管进一步提高了法拉第杯（FC）的灵敏度，并有助于其使用寿命。