皮拉尼真空计TRP-11在半导体行业的运用

发布日期：2023-09-24      浏览次数：1146

皮拉尼真空计TRP-11在半导体行业的运用

真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史沿用下来的并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应。真空计（Vacuum Gauge），又名真空表就是依据各种原理制作成用来测量真空状态下压力大小的真空传感器，由栅极、灯丝、收集极组成,其特征在于有上、下端栅的鼠笼式栅极，环形灯丝，与小子羊栅极长度的处于栅极内部的短收集极的同轴组合结构，并且利用真空连接管导。
谈到半导体技术，就绕不开真空行业。由于半导体制造与封测技术的复杂性，从晶圆裸片到芯片成品，中间需要经过氧化、溅镀、光刻、刻蚀、离子注入、以及封装等上百道特殊的工艺步骤，其中多个步骤都离不开真空环境。就半导体应用设备而言，电子加速、光电器件、电子材料、射线管、晶振、激光、离子注入设备、离子刻蚀机、CVD、PECVD，PVD、分子束外延设备、集成电路封装等等，均会用到中高真空，所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规，一般前级真空一个，本底和工艺监控各一个，都选的是进口的真空计，皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等。




皮拉尼真空计TRP-11



特征

■可测量从5×10-2Pa到大气压的大范围压力

■数字电路显着提高了温度校正功能，实现了高精度。

■数字电路和灯丝结构使其轻巧紧凑。

■压力输出比例DC 0至10 V（输出分辨率14位），并且可以使用Log线性输出通过数学公式转换压力。

■传感器TRP-11由DC 12至30 V的电源电压驱动，显示器用于AC 100 至 240 V 范围。 可能通过集成传感器控制电路，可以在没有电源指示灯的情况下使用，从而节省空间。

■标准配备 RS-485 数字通信，非常适合自动化。

■ATM（大气压）/VAC（高真空）可通过按钮开关调节

■状态 LED 功能提高传感器状态的可视性

■各种过程中的压力 非常适合监控

■TRP-11SP（可选）配备 2 个设定点，可用作真空开关。

■使用内置开关可以轻松设置设定点。 

原理分析图