晶体晶格畸变非接触式检测设备CS-1的特点

发布日期：2024-05-21      浏览次数：135

晶体晶格畸变非接触式检测设备CS-1的特点

"Crystalline Tester CS1"是非破坏性、非接触式检测可见光（波长400～800nm）透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。






产品特征

产品特长	高速测量（6" 衬底　90秒） ・可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。 纵向结晶评价 ・因为是透视型结晶评价装置，所以不只可以观察衬底表面，还可以观察包括Z轴方向的晶圆所有部位。 可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果 ・可以取得同等测试效果，实现高速低成本。 价格竞争力 ・在晶片测量装置中，属于性价比好的一款系统。
可测量材料	SiC单晶衬底、及SiC外延衬底 GaN单晶衬底、及GaN外延衬底 AlN单晶衬底、及AlN外延衬底 可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。
测试效果不佳材料	・无可视光透视性材料：Si、GaAs等 ・无双折射效果材料：蓝宝石、Ga2O3 等