krosaki半导体制造设备用光学镜NEXCERA®

发布日期：2025-01-03      浏览次数：259

krosaki半导体制造设备用光学镜NEXCERA®






NEXCERA ®是一种热膨胀系数与低热膨胀玻璃相当且刚性高的材料。
主要用作半导体制造设备、坐标测量机、望远镜等的反射镜。

特征

• ●热膨胀系数与低膨胀玻璃相当

• ●可实现精密镜面加工

• ●高的稳定性（热/时间）

• ●重量轻、刚性高

• ●自扩散接合无需接合剂即可接合

1. 
   薄筋结构
   （筋厚度：3mm）

2. 盖板粘合（自扩散粘合）+精密镜面加工

3. 
   箱体结构（镜面）
   Φ340×70mm

4. 
   平坦度 36nm < λ/10

5. 
   表面粗糙度：Ra 0.36nm，PV 32nm

键合技术 自扩散键合

• ・陶瓷直接接触并加压加热，使构成元素扩散而接合的方法。

• ・无需使用粘接剂即可接合。

1. 
   薄筋结构
   （筋厚度：3mm）

2. 盖子接头

3. 
   箱体结构（镜面）
   Φ340×70mm

4. 

   联合剖面照片

NEXCERA®热稳定性

• ●热循环
  (RT⇒-20℃(11h)⇒+60℃(11h)⇒RT)×4次

• ●
  NEXCERA® （ N117B）镜面/薄肋接合结构 示例


样品尺寸： φ340mm

1. 
   <热循环前> 平面度：0.058μm

2. 
   <热循环后>平面度：0.060μm

温度循环前后的平整度变化在设备误差范围内
， 形状轮廓几乎保持不变。

 热循环引起的滞后非常小。

NEXCERA ®超低热膨胀陶瓷



NEXCERA ®是一种基于堇青石（2MgO-2Al 2 O 3 -5SiO 2 ）陶瓷的超低热膨胀陶瓷。它在室温附近表现出零膨胀，是一种比低热膨胀玻璃具有更高强度和刚性的材料。可以创建以前不可能的复杂形状。

特征

• 零热膨胀

• 它在室温附近几乎为零膨胀。

• 高老化稳定性和热稳定性

• 随着时间的推移，尺寸变化极小，并且热膨胀系数和尺寸相对于温度变化的再现性非常好。

• 重量轻、刚性高

• 与一般低热膨胀玻璃相比，其刚性约为1.5倍。

• 可实现精密镜面加工

• 由于它是无孔材料，因此可以通过研磨或抛光将其加工成镜面。

• 近终形烧成技术

• 通过预烧制处理可以实现近净烧制，从而可以以低成本制造复杂的结构。

热膨胀行为



单击此处查看 NEXCERA ®应用产品页面

• 测量仪器参考装置概述

• 光学镜概述

各材料物性表

产品编号		N113B	N117B	N118C	N119C	CD107
颜色		黑色的	黑色的	蓝灰色	浅蓝 灰色	蓝灰色
堆积密度	克/立方厘米	2.5	2.55	2.58	2.5	2.57
弯曲强度	兆帕	210	230	220	166	230
杨氏模量	GPa	130	140	140	130	143
比刚度	GPa/(克/立方厘米)	52	55	54	52	55
断裂韧性值	兆帕·米1/2	1.2	1.2	1.4	1.3	1.4
硬度	GPa	8.0	8.1	8.1	8.0	-
热膨胀系数	X10 -6 /℃ 23℃	< 0.03	< 0.03	< 0.05	< 0.05	< 0.03 （22℃时测定）
导热系数	瓦/米克	3.7	4.2	4.5	4.3	4.7
相对介电常数	(1兆赫)	4.7	6.0	4.7	4.4	4.6

*所列数据为典型值，并非保证值。