半导体制造中为什么需要检测露点？

发布日期：2025-01-10      浏览次数：233

半导体制造中为什么需要检测露点？




水可能是所有生命的基础，但当涉及到半导体制造等专业过程时，它通常是过程中不想要的化合物之一。

　　水蒸气的存在不仅在技术方面，而且对商业成果都有非常重要的影响。即使是很少量的水蒸气也会在晶片表面带入杂质或导致氧化，从而会对半导体器件的电特性产生不利影响。

　　这可能导致生产效率降低、生产成本增加和制造时间延长，直接影响盈利能力和市场竞争力。

　　在光刻、沉积和蚀刻等关键工艺过程中，对湿度和水蒸气的精确控制对于保持半导体层的结构完整性和实现所需的产品质量至关重要。水蒸气的有效管理不仅对于维护半导体器件所需的高性能标准和可靠性至关重要，而且对于确保高效的生产工艺、有力地减少浪费和保持强大的市场竞争地位也至关重要。



TEKHNE公司是一家拥有40年露点测量的日本制 造商，生产创新的TK-100系列湿度仪。  测量方便，带有显示屏的TK-100在线式湿度仪能 连续测量，你所需要的是100～240VAC电源和样气接 口。此外，你也可以选择TK-100露点传感器，单独使 用4～20mA信号输出供电18～28VDC。

特征

简 便  

TEKHNE公司是一家拥有40年露点测量的日本制 造商，生产创新的TK-100系列湿度仪。  测量方便，带有显示屏的TK-100在线式湿度仪能 连续测量，你所需要的是100～240VAC电源和样气接 口。此外，你也可以选择TK-100露点传感器，单独使 用4～20mA信号输出供电18～28VDC。

高 品 质  

TEKHNE的氧化铝陶瓷传感器能保证最佳精度， 快速响应以及长期稳定性。大多数先进的传感器技术 均应用于此。  此外，先进的微处理器技术实现全温度补偿，将 处理温度到露点测量值的影响最小化。通过TK-100传 感器把-80～+20℃露点输出转换为稳定的和线性的 4～20mA输出。

灵 活 性 

 TEKHNE的TK-100系列用于空气或惰性气体的露 点测量。把传感器通过选件取样座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的处理线上。1/8 DIN显示屏可在距离传 感器1000米远处设置。  处理线的流量必须设定为1～10NL/分（带选件取 样座）或0.5～10m/秒（不带选件取样座）温度范围 -20～+60℃，压力可达30MPa。建议安装过滤器滤去 灰尘。




主要用途

• 手套箱内的露点控制

• 干燥机露点检查

• 热处理炉内气氛控制

• 洁净室和干燥室的露点管理

• 气体纯度控制

• 天然气水分管理

• 半导体制造设备

• 有机EL制造