日本Amenity公司的气流可视化设备AVIS基于雾示踪法,在洁净室环境中具有以下显著优势:
1. 无污染且兼容洁净环境
超纯水雾化:采用超纯水作为示踪剂,无毒、无化学污染,符合洁净室对材料纯净度的严苛要求,避免引入外来污染物。
颗粒尺寸可控:生成的0.5μm雾气颗粒是洁净室标准粒径,既能稳定悬浮跟随气流,又不会因过大颗粒沉降造成设备或产品污染。
2. 高精度气流追踪
真实反映气流动态:0.5μm颗粒具有极低的惯性,能精准跟随气流运动(包括低速气流),避免示踪剂自身干扰测量结果,确保可视化数据真实可靠。
微小扰动优化:设备通过调节风量和振荡频率,最小化雾气喷射对原有气流的影响,尤其适合对气流稳定性要求高的洁净室环境。
3. 直观感染风险分析
病原体传播路径模拟:雾气颗粒的运动可直观显示气流携带污染物的扩散路径,帮助识别交叉污染风险点(如手术室飞沫传播、制药车间微粒扩散)。
死角与湍流检测:通过可视化气流停滞区或异常涡流,优化洁净室换气次数(ACH)及高效过滤器(HEPA)布局,提升单向流(层流)效果。
4. 实时动态评估与验证
无需复杂设备介入:直接目视或结合摄像记录即可评估气流组织,无需暂停洁净室运行,适合动态验证压差梯度或设备启停时的气流变化。
兼容验证标准:支持ISO 14644-3等洁净室检测标准中对气流流型测试的要求,辅助验证单向流、非单向流性能。
5. 操作灵活与安全性
参数可调适配场景:通过调整雾量、颗粒大小(如降低频率增大颗粒以观察高速气流),适应不同洁净等级(ISO 5级至8级)的检测需求。
无安全隐患:超纯水雾气无导电性或腐蚀性,可在电子类洁净室等敏感区域安全使用,区别于油基或固体颗粒示踪剂。
应用场景示例
手术室:可视化麻醉气体泄漏路径,优化排风系统设计。
半导体车间:检测光刻机周边气流扰动,防止微粒沉积晶圆。
生物安全实验室:验证负压环境下危险气溶胶的 containment 效果。
综上,AVIS设备通过无害化、高精度且直观的可视化方案,成为洁净室气流优化、感染控制及合规验证的高效工具。