日本okk全自动紫外线照射器FBUV系列技术

发布日期：2021-04-07      浏览次数：1205

日本okk全自动紫外线照射器FBUV系列技术



通过一键式设置变更转盘，即使是不同尺寸的工作也能均匀照射！

概述
黑光规格的全自动紫外线照射器是
一种自动取出暗盒提供的晶片框架，用紫外线照射并存储它的设备。切块后，施加紫外线使其更容易拾取，从而降低了胶带的粘合强度。
通过自动更改设置支持8英寸和12英寸晶圆框架。
特征

每个暗盒都可以全自动照射。

旋转式转盘可实现均匀且均匀的紫外线照射。

各种紫外线照射条件（时间设置或集成的光强度设置）

紫外线照度实时显示在触摸屏上。

由于采用了黑光规格，因此功耗低。

兼容8英寸/ 12英寸录xiang带。（可以通过触摸面板自动更改设置）

 

规格

尺寸	宽770 x深1090 x高1200（毫米）
重量	约250公斤
驱动空气	0.4-0.5Mpa 65L /分钟
紫外线照度	9mW /cm²或更高
N 2	0.4-0.5Mpa 100L /分钟
电源	AC100V 50 / 60Hz 30A