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更新日期：2024-03-23
简要描述：
yutaka半导体制造用压力控制设备L12系列L12 系列是按照 1.25“ SEMI 标准设计的压力调节器。
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
yutaka半导体制造用压力控制设备L12系列
功能
低压1MPa以下
焊接规范金属垫片
配件集成规格
调节阀结构
针型
兼容气体
7类特殊高压气体腐蚀性气体，有毒气体
除外
标准流量
~60吨/分钟
yutaka半导体制造用压力控制设备L12系列
特点
| 入口压力 | 最大0.99MPa |
| 调节压力（L12・L12H） | 最大0.7MPa（量程规格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa ） |
| 调节压力（L12V） | 量程规格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa |
| 耐压压力 | 1.5MPa （入口侧） |
| 简历值 | 0.1 |
| 工作温度 | -10~+40°C |
| 外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/秒・He （真空方式） |
| 质量 | 约 270g（1.125“ SEMI 规格） |
L12 系列是按照 1.25“ SEMI 标准设计的压力调节器。
与集成供气系统的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。
还提供高流量和真空规格以及端面密封接头类型。
